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*1. 測量范圍在測量周期為28μs以上時。 
*2.在測量中心距離對本公司標準鏡面對象物體進行平均次數(shù)16384次測量時的實效值， 
與出口貿易管理法規(guī)對應控制器(ZW-7000T)連接時，無論傳感頭和設定條件如何，小分辨率都為0.25μm。 
*3.設定本公司標準對象物體的材質：相對于鏡面測量時的理想直線的誤差。 
*4. 以測量波長的峰值光強度的1/e2(13.5%)定義的實效值。 
*5.用鋁夾具固定傳感頭和對象物體之間，在相同溫度環(huán)境下設置傳感頭和控制器時的測量中心距離的測量值變化量。